不锈钢气体质量流量控制器技术问题的问答
发布时间：2018-05-17 点击次数：1629次
不锈钢气体质量流量控制器技术问题的问答
越来越多的朋友对不锈钢气体质量流量控制器产生了浓厚的兴趣。为了帮助朋友们更好地选购和使用此类产品，我们对曾经遇到过的有关技术和工艺方面的疑问统一整理回答，供朋友们参考。
1.什么是不锈钢气体质量流量控制器？
不锈钢气体质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,不锈钢气体质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2.不锈钢气体质量流量控制器的原理是什么？
不锈钢气体质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与不锈钢气体质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
3.不锈钢气体质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm和slm来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa(760mm Hg);温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
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