怎么理解气体流量控制器的流量单位？
发布时间：2018-03-27 点击次数：1503次
怎么理解
气体流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm和slm来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa(760mm Hg);温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到，因而简单地做一个乘法即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是,被*质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,不符合国内计量标准的常用的质量流量的单位（Kg/min）,但是它符合半导体协会制定的SEMI标准。
什么情况下用气体流量控制器?
一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用气体流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候,用质量流量计;当定流测压时,需要用气体流量控制器。注意,当气体流量控制器处于清洗状态时,也可以当质量流量计使用,只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
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