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alicat气体质量流量控制器测量出现偏差该怎么处理?
发布时间:2020-06-23   点击次数:201次
  alicat气体质量流量控制器的特点是无需预热和立即启动,因此质量流量控制器可以在短短一秒钟内开始控制真空镀膜工艺系统的流量,测量并显示质量流量,体积流量,压力和温度参数。实时,并用温度和压力充分补充流量参数。气体模块程序直接显示在质量流量控制器提供的屏幕上,并且可以通过操作屏幕按钮直接切换气体类型。它可用于气体流量测量和过程控制。它可以在所有领域代替孔板和差压流量计。
 

alicat气体质量流量控制器

  alicat气体质量流量控制器采用热扩散原理,该技术在恶劣条件下具有出色的性能和高可靠性。典型的传感器由两个热阻组成,一个是速度传感器,另一个是温度传感器,可自动补偿气体温度变化。当将两个RTDS放置在介质中时,速度传感器被加热到​​高于环境温度的恒定温度,另一个温度传感器用于检测介质温度。流过速度传感器的气体质量是通过传感器元件的热传递来计算的。随着气体速度的增加,介质带走的热量增加。降低传感器的温度。为了保持温度恒定,必须增加通过质量流量控制器的工作电流,并且增加的电流部分与介质的流量成比例。使用中会出现流量偏差是非常严重的事情,因此我们需要及时解决偏差问题。
  1,0点是否有漂移
  首先,连接电源。当质量流量控制器信号为0时,用万用表测量功率控制器的输出信号值和反馈信号。
  2,气体是否纯净
  如果道路上有污染,流量肯定会受到影响。此时,高纯度N2可以用于清洁多次。如果仍然无法解决,则需要找到专业的维修中心来接受A/S;
  3,前压力是否达到标定压力
  如果alicat气体质量流量控制器的压力不够,将无法达到校准范围。
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