差压式流量控制器是精确测量气体流量的仪器，其测量值不会因温度或压力波动而导致不准确，不需要温度和压力补偿。气体流量调节阀设置在质量流量控制器（MFC）中，该阀门可以调节通过控制器的流量，从零到满量程。在工作过程中，控制器的进出口之间会产生压降，即压差。流量控制器的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa。如果压差低于低值（0.1MPa），可能达不到满量程值；若高于（0.3MPa），可关闭时流量不小于2%F.S。用户使用流量控制器时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，流量控制器进出口端的压差均应保持在要求的压差范围内，气压相对稳定。所以如果流量控制器的流量偏差精度不高，是很严重的事情。因此，当偏差精度不高时，需要及时解决。那么使用中如何始终保持差压式流量控制器的精度？

　　

　　1、精度低、偏差小的检验方法：

　　

　　（1）看看零点是否有漂移。接通电源，流量控制器的信号为0时，测量输出信号值，查看功率控制器的反馈信号；

　　

　　（2）看看气体是否纯净。如果气路被污染，流量肯定会受到影响。此时可使用高纯N2进行多次清洗；

　　

　　（3）检查前端压力是否发展到校准压力。如果流量控制器压力不够，将达不到标定范围，或考虑使用低压损失流量控制器。

　　

　　2、差压式流量控制器使用注意事项：

　　

　　（1）根据不同的介质、流量和工作场所选择合适的流量计/控制器类型；

　　

　　（2）根据不同类型的流量计选择合理的安装方式；

　　

　　（3）定期维护，定期检查流量计的工作状态和显示器的连接情况；

　　

　　（4）定期校准质量流量计/控制器。