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使用中如何始终保持差压式流量控制器的精度?
发布时间:2022-05-24   点击次数:194次
  差压式流量控制器是精确测量气体流量的仪器,其测量值不会因温度或压力波动而导致不准确,不需要温度和压力补偿。气体流量调节阀设置在质量流量控制器(MFC)中,该阀门可以调节通过控制器的流量,从零到满量程。在工作过程中,控制器的进出口之间会产生压降,即压差。流量控制器的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa。如果压差低于低值(0.1MPa),可能达不到满量程值;若高于(0.3MPa),可关闭时流量不小于2%F.S。用户使用流量控制器时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,流量控制器进出口端的压差均应保持在要求的压差范围内,气压相对稳定。所以如果流量控制器的流量偏差精度不高,是很严重的事情。因此,当偏差精度不高时,需要及时解决。那么使用中如何始终保持差压式流量控制器的精度?
  
  1、精度低、偏差小的检验方法:
  
  (1)看看零点是否有漂移。接通电源,流量控制器的信号为0时,测量输出信号值,查看功率控制器的反馈信号;
  
  (2)看看气体是否纯净。如果气路被污染,流量肯定会受到影响。此时可使用高纯N2进行多次清洗;
  
  (3)检查前端压力是否发展到校准压力。如果流量控制器压力不够,将达不到标定范围,或考虑使用低压损失流量控制器。
  
  2、差压式流量控制器使用注意事项:
  
  (1)根据不同的介质、流量和工作场所选择合适的流量计/控制器类型;
  
  (2)根据不同类型的流量计选择合理的安装方式;
  
  (3)定期维护,定期检查流量计的工作状态和显示器的连接情况;
  
  (4)定期校准质量流量计/控制器。
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