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量程0-0.5sccm和0-5000slpm,100:1的量程比，内置130种气体，10ms快速响应时间，优于1%的精度
量程-0.5SCCM～0.5SCCM到-3000SLPM～3000SLPM,200:1量程比，内置98种气体，100ms响应，优于1%精度
量程0-0.5SCCM到0-500SLPM,200:1的量程比，内置98种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度
量程：0.5SCCM到500SLPM；满量程压损Z低可达0.06PSID，且不影响其它任何性能指标
量程0-10sccm到0-20slpm,200:1的量程比，低价位, 10ms快速响应时间，优于1%的精度
热贴片原理；量程从100sccm到1000sccm到20slpm,体积小巧精致，适合系统集成，100ms快速响应时间，优于2%精度
